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設(shè)備市場(chǎng)調(diào)研報(bào)告
在人們?cè)絹?lái)越注重自身素養(yǎng)的今天，報(bào)告與我們愈發(fā)關(guān)系密切，要注意報(bào)告在寫作時(shí)具有一定的格式。一起來(lái)參考報(bào)告是怎么寫的吧，以下是小編幫大家整理的設(shè)備市場(chǎng)調(diào)研報(bào)告，僅供參考，歡迎大家閱讀。
設(shè)備市場(chǎng)調(diào)研報(bào)告 1
近年來(lái)，公共衛(wèi)生突發(fā)事件與傳染病頻發(fā)給基層疾控中心建設(shè)提出了新的任務(wù)，也體現(xiàn)出了實(shí)驗(yàn)室在疾控工作中的重要性。我中心設(shè)備更新緩慢、檢測(cè)措施滯后、投入資金相對(duì)缺乏。為不斷完善實(shí)驗(yàn)室建設(shè)、規(guī)范計(jì)量認(rèn)證、提高測(cè)試的可信度、完成實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證，我中心擬采購(gòu)部分實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
20xx年4月20日，由唐書記帶隊(duì)，由檢驗(yàn)科、采購(gòu)科一行三人對(duì)所要采購(gòu)設(shè)備進(jìn)行市場(chǎng)考察�，F(xiàn)將考察結(jié)果做一匯報(bào)。 4月20日下午到達(dá)西安，先到西安偉邦醫(yī)用設(shè)備有限公司進(jìn)行考察。該公司位于西安市更新街73號(hào)，是一家具有一定規(guī)模的民營(yíng)企業(yè)。現(xiàn)有員工20余名，各種資質(zhì)證件齊全。隨后在該公司技術(shù)人員帶領(lǐng)下對(duì)公司所推薦產(chǎn)品進(jìn)行實(shí)際考察。
第一站到中鐵一局實(shí)驗(yàn)室了解上�？迫A生產(chǎn)的酶標(biāo)儀和洗板機(jī)的`使用情況。從用戶的反映來(lái)看，對(duì)酶標(biāo)儀的質(zhì)量基本認(rèn)可，在使用過(guò)程中尚未發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，但用戶對(duì)洗板機(jī)的意見較大。
1、反映洗板機(jī)售后服務(wù)不及時(shí)。
2、儀器剛使用一年就有注水部位生銹。
該公司業(yè)務(wù)經(jīng)理承諾更換品牌。4月21日邀請(qǐng)考察另一品牌，因時(shí)間較緊，沒(méi)能前往考察。
第二站到新城中醫(yī)民樂(lè)分院考察深圳邁瑞生產(chǎn)的BC-2600全自動(dòng)血細(xì)胞分析儀。用戶反映該儀器的準(zhǔn)確性、重復(fù)性較好。售后服務(wù)較好。唯一不足就是測(cè)試速度較慢，每小時(shí)30個(gè)測(cè)試，適合標(biāo)本相對(duì)較零散或者標(biāo)本量小于每天60個(gè)的實(shí)驗(yàn)室使用。該儀器的市場(chǎng)售價(jià)在五萬(wàn)多元。
第三站到西安醫(yī)學(xué)院第二附屬醫(yī)院考察深圳邁瑞生產(chǎn)的BC-3000puls全自動(dòng)血細(xì)胞分析儀。針對(duì)該款儀器用戶反映最好，從儀器的穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性、重復(fù)性均很可靠。速度為每小時(shí)60個(gè)測(cè)試。且該醫(yī)院生化分析儀400速和800速均是深圳邁瑞生產(chǎn)的。相對(duì)來(lái)說(shuō)邁瑞的產(chǎn)品用戶評(píng)價(jià)較高，市場(chǎng)裝機(jī)量較大。該款儀器現(xiàn)在市場(chǎng)價(jià)位在7萬(wàn)左右。
考察結(jié)論：
1、血細(xì)胞分析儀建議考慮邁瑞系列產(chǎn)品，根據(jù)我中心資金狀況選擇儀器。
2、酶標(biāo)儀洗板機(jī)建議考慮其它品牌。
設(shè)備市場(chǎng)調(diào)研報(bào)告 2
一、需要進(jìn)行調(diào)研的設(shè)備范圍：
1、公司未使用過(guò)的設(shè)備；
2、公司使用過(guò)（包括借用或租用），但未購(gòu)買過(guò)的設(shè)備；
3、公司設(shè)備主管領(lǐng)導(dǎo)提出調(diào)研要求的其他貴重設(shè)備。
二、調(diào)研工作的責(zé)任主體：
1、單價(jià)在3萬(wàn)元以下的設(shè)備，由申購(gòu)單位自行組織調(diào)研。調(diào)研報(bào)告經(jīng)申購(gòu)單位負(fù)責(zé)人簽字批準(zhǔn)后，方可進(jìn)行設(shè)備申購(gòu)。
2、單價(jià)在3萬(wàn)元以上（含）的設(shè)備，由申購(gòu)單位在申購(gòu)前提出調(diào)研申請(qǐng)，由公司設(shè)備主管領(lǐng)導(dǎo)指定調(diào)研人員或組織調(diào)研小組進(jìn)行調(diào)研。調(diào)研報(bào)告經(jīng)公司設(shè)備主管領(lǐng)導(dǎo)簽字批準(zhǔn)后，方可進(jìn)行設(shè)備申購(gòu)。
三、調(diào)研報(bào)告的內(nèi)容要求：
設(shè)備調(diào)研一般應(yīng)選取三個(gè)或三個(gè)以上不同生產(chǎn)廠家的設(shè)備進(jìn)行比較和分析，特殊情況下不能找到三個(gè)及三個(gè)以上不同生產(chǎn)廠家的，應(yīng)予以說(shuō)明。設(shè)備調(diào)研報(bào)告應(yīng)包含如下內(nèi)容：
1、對(duì)擬申購(gòu)設(shè)備的基本要求（規(guī)范要求、環(huán)境要求、性能要求等）；
2、擬申購(gòu)設(shè)備的外形尺寸和擬安裝的位置，以及對(duì)安裝空間的要求（地基基礎(chǔ)、水電等）；
3、擬申購(gòu)設(shè)備的技術(shù)參數(shù)，應(yīng)明確提出是否滿足使用要求；
4、擬申購(gòu)設(shè)備的性能、質(zhì)量，應(yīng)收集一些購(gòu)買過(guò)該設(shè)備的單位對(duì)該設(shè)備的使用評(píng)價(jià)；
5、擬申購(gòu)設(shè)備的溯源方式和溯源機(jī)構(gòu)；
6、擬申購(gòu)設(shè)備的出廠價(jià)格（含配件）和售后服務(wù)（質(zhì)保期等）情況，應(yīng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的經(jīng)濟(jì)分析；
7、應(yīng)提出明確的、選擇性的推薦購(gòu)置設(shè)備的建議。
四、調(diào)研報(bào)告的`編寫、審核與審批：
1、由申購(gòu)單位自行組織調(diào)研的設(shè)備調(diào)研報(bào)告，應(yīng)由調(diào)研人員負(fù)責(zé)編寫，由申購(gòu)單位設(shè)備管理員負(fù)責(zé)審核，由申購(gòu)單位負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)審批。
2、公司組織調(diào)研的設(shè)備調(diào)研報(bào)告，應(yīng)由公司設(shè)備主管領(lǐng)導(dǎo)指定的調(diào)研人員或調(diào)研小組組長(zhǎng)負(fù)責(zé)編寫，由公司設(shè)備管理員負(fù)責(zé)審核，由公司設(shè)備主管領(lǐng)導(dǎo)負(fù)責(zé)審批。
五、調(diào)研工作的職責(zé)劃分：
1、調(diào)研人員或調(diào)研小組應(yīng)對(duì)調(diào)研報(bào)告的內(nèi)容負(fù)責(zé)，保證報(bào)告內(nèi)容的真實(shí)、全面。
2、調(diào)研報(bào)告的審核人員應(yīng)對(duì)調(diào)研報(bào)告的形式負(fù)責(zé)，確認(rèn)報(bào)告內(nèi)容符合調(diào)研規(guī)定，并有編寫人員的書面簽字。
3、調(diào)研報(bào)告的審批人員應(yīng)對(duì)調(diào)研工作的程序和調(diào)研報(bào)告的有效性負(fù)責(zé)，保證調(diào)研工作的進(jìn)行符合公司規(guī)定，并在調(diào)研報(bào)告的審批意見中明確提出最終的選擇意見。
本規(guī)定自20xx年01月01日開始實(shí)施，公司原有的關(guān)于設(shè)備調(diào)研的規(guī)定同時(shí)廢止。
設(shè)備市場(chǎng)調(diào)研報(bào)告 3
國(guó)產(chǎn)光伏電池制造設(shè)備生存現(xiàn)狀
根據(jù)IMSResearch的研究，20xx年太陽(yáng)能光伏制造設(shè)備的市場(chǎng)可能減半。由于太陽(yáng)能光伏制造設(shè)備新需求顯著下跌，市場(chǎng)存在的現(xiàn)有設(shè)備的換代和升級(jí)需求有限，預(yù)計(jì)20xx年市場(chǎng)下跌超過(guò)55%。
近幾年來(lái)，太陽(yáng)能光伏產(chǎn)品制造商紛紛投入巨資購(gòu)買新光伏設(shè)備擴(kuò)大產(chǎn)能，以此來(lái)擴(kuò)大市場(chǎng)份額，同時(shí)讓自己成為可靠的大批量供貨商。雖然，這為最近太陽(yáng)能光伏電池制造設(shè)備市場(chǎng)的繁榮起到了推波助瀾的作用，但是，這也導(dǎo)致了目前光伏設(shè)備制造商的產(chǎn)能過(guò)剩。
高級(jí)研究分析師TimDawson說(shuō)：“根據(jù)IMSRsearch的估計(jì)，光伏電池制造設(shè)備市場(chǎng)收入在2011年達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的128億美元，20xx年將會(huì)僅僅超過(guò)57億美元。大規(guī)模產(chǎn)能過(guò)剩，再加上需求下降，生產(chǎn)商在可能的情況下，要么推遲要么取消了光伏制造設(shè)備的訂單，至少短期內(nèi)事實(shí)情況就是這樣。
從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，2013年光伏行業(yè)恢復(fù)增長(zhǎng)是必然的，但是并不能預(yù)測(cè)將會(huì)出現(xiàn)強(qiáng)有力的V型復(fù)蘇。光伏制造設(shè)備市場(chǎng)將會(huì)穩(wěn)步恢復(fù)。畢竟，光伏生產(chǎn)商依然會(huì)希望再次在新設(shè)備上投資以保持競(jìng)爭(zhēng)力，改善生產(chǎn)流程，提供電池效率，最終減少每瓦成本。
目前，我國(guó)光伏設(shè)備企業(yè)從硅材料生產(chǎn)、硅片加工、光伏電池片、光伏組件的生產(chǎn)以及相應(yīng)的純水制備、環(huán)保處理、凈化工程的建設(shè)、以及與光伏產(chǎn)業(yè)鏈相應(yīng)的檢測(cè)設(shè)備、模擬器等，已經(jīng)具備成套供應(yīng)能力，部分產(chǎn)品如擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、單晶爐、多晶鑄錠爐、層壓機(jī)、檢測(cè)設(shè)備等開始出口。值得一提的是，硅材料加工設(shè)備中單晶爐以優(yōu)良的性價(jià)比占據(jù)了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的絕對(duì)統(tǒng)治地位并批量出口亞洲，多線切割機(jī)已取得突破，多晶硅鑄錠爐已經(jīng)開始大量在國(guó)內(nèi)企業(yè)中使用。
據(jù)中電四十八所提供數(shù)據(jù)顯示，在10個(gè)太陽(yáng)能光伏電池制造生產(chǎn)線設(shè)備中，國(guó)產(chǎn)設(shè)備已能提供其中的8種，其中有6種（擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、清洗/制絨機(jī)、去磷硅玻璃（PSG）設(shè)備、低溫烘干爐）已在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線上占據(jù)主導(dǎo)地位，2種（管式PECVD、快速燒結(jié)爐）與進(jìn)口光伏設(shè)備并存但份額正逐步增大。但是，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)、自動(dòng)分揀機(jī)、平板式PECVD仍然依賴進(jìn)口。目前國(guó)內(nèi)光伏電池注流建線方案為國(guó)產(chǎn)和進(jìn)口設(shè)備混搭，基本以國(guó)產(chǎn)為主。設(shè)備投資方面，一條25MW的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)線需3400—6000萬(wàn)元。
我國(guó)光伏電池制造設(shè)備的技術(shù)水平
首先，在濕法腐蝕、清洗設(shè)備、擴(kuò)散方面，主要是自動(dòng)制絨設(shè)備、自動(dòng)清洗設(shè)備、全封閉擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、去PSG設(shè)備等國(guó)內(nèi)已經(jīng)能夠制造，已經(jīng)達(dá)到世界先進(jìn)水平，且性價(jià)比優(yōu)勢(shì)十分明顯；國(guó)產(chǎn)PECVD（管式）的工藝結(jié)果已接近世界先進(jìn)水平，這是這種設(shè)備的優(yōu)勢(shì)。但它的自動(dòng)化程度（自動(dòng)裝卸片）不如進(jìn)口設(shè)備（進(jìn)口設(shè)備如德國(guó)Centrotherm公司產(chǎn)品，售價(jià)是國(guó)產(chǎn)設(shè)備的三倍左右），平板型PECVD目前國(guó)內(nèi)已有企業(yè)生產(chǎn)，有待進(jìn)一步驗(yàn)證；第三，國(guó)產(chǎn)絲網(wǎng)印刷機(jī)（只有手動(dòng)），與進(jìn)口自動(dòng)化產(chǎn)品的差距也是在自動(dòng)裝卸片（機(jī)械手）和自動(dòng)檢測(cè)手段上，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已有企業(yè)生產(chǎn)，工藝有待進(jìn)一步驗(yàn)證；第四，高溫?zé)Y(jié)爐技術(shù)提高，開始批量在大線上使用；第五，自動(dòng)檢測(cè)分揀設(shè)備目前國(guó)內(nèi)已達(dá)到國(guó)際中等水平。
然而，盡管國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能光伏設(shè)備在國(guó)內(nèi)用戶中已建立起良好的信譽(yù)，得到業(yè)界的廣泛認(rèn)可，越來(lái)越多的客戶從價(jià)格適中、性能良好、技術(shù)不斷進(jìn)步的國(guó)產(chǎn)設(shè)備中受益。但我們也應(yīng)該看到，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商在整體技術(shù)水平尤其是尖端技術(shù)水平上和國(guó)外廠商尚有差距。業(yè)內(nèi)專家指出，國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能光伏設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力不完全在于設(shè)備的性能指標(biāo)，而在于設(shè)備的性能價(jià)格比。成本是太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的終極目標(biāo)，業(yè)內(nèi)有句話，光伏設(shè)備沒(méi)有最好的，只有最合適的。據(jù)了解，建設(shè)一條太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線，70%以上的投資是用來(lái)購(gòu)買設(shè)備，而國(guó)產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格平均只有國(guó)外產(chǎn)品的1/3—1/2，采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備輔以少量進(jìn)口設(shè)備，可以將建線成本降低一半以上。
清洗/制絨設(shè)備：?jiǎn)尉Ч韫夥姵夭凼交緡?guó)產(chǎn)，多晶硅電池連續(xù)式進(jìn)口居多。
當(dāng)前環(huán)境下，國(guó)內(nèi)清洗設(shè)備企業(yè)正直面生存和發(fā)展的問(wèn)題。調(diào)查中發(fā)現(xiàn)，面對(duì)這場(chǎng)全球性的危機(jī)，電池清洗設(shè)備企業(yè)在擔(dān)憂的同時(shí)，應(yīng)對(duì)未來(lái)發(fā)展持謹(jǐn)慎樂(lè)觀態(tài)度。擔(dān)憂的是這場(chǎng)風(fēng)險(xiǎn)對(duì)那些發(fā)展不好、實(shí)力不強(qiáng)的企業(yè)影響很大，樂(lè)觀的是清洗機(jī)行業(yè)仍然是全球和我國(guó)持續(xù)發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。過(guò)去幾年來(lái)，清洗機(jī)國(guó)內(nèi)產(chǎn)量快速增長(zhǎng)和外貿(mào)出口量不斷加大，產(chǎn)業(yè)不斷擴(kuò)張，這造成了當(dāng)前大量清洗機(jī)開始“倒向”國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。國(guó)內(nèi)清洗機(jī)行業(yè)因國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的需求萎縮，企業(yè)出現(xiàn)限產(chǎn)和停產(chǎn)的狀況。
在太陽(yáng)能電池企業(yè)，目前在清洗制絨方式上采用的設(shè)備方式一般有三種：一種是效率不高但很實(shí)用的手動(dòng)操作清洗設(shè)備；第二種是分體式全自動(dòng)清洗，即清洗、制絨工序各用相關(guān)設(shè)備；第三種是目前較流行的一體式清洗機(jī)，從研磨片到電池片一步到位。以上三種方式各有利弊：手動(dòng)操作盡管慢，但對(duì)于產(chǎn)量不大，人力成本低的廠家來(lái)說(shuō)是很好的選擇；分體式清洗機(jī)對(duì)硅片參數(shù)要求不高，效率也比較高，較容易找出電池片出問(wèn)題的所在；一體式清洗機(jī)效率高，自動(dòng)化程度高，但對(duì)硅片尺寸要求嚴(yán)格，維護(hù)起來(lái)也不太方便。
制絨工藝比較復(fù)雜，不同公司有各自獨(dú)特的制絨方法�；镜墓に嚵鞒虨椋荷狭稀鶫F+HNO3腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→下料→離心機(jī)甩干（離線）。使用到的化學(xué)添加劑有兩種，一種是IPA（異丙醇），另一種是工業(yè)酒精。目前國(guó)內(nèi)的清洗制絨設(shè)備以達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，體現(xiàn)在以下方面：全程PLC控制，觸摸屏操作；采用新型勻液及風(fēng)道設(shè)計(jì)技術(shù)，降低清洗成本，減少污物的排放；新的密封隔離技術(shù)的使用，杜絕了生產(chǎn)過(guò)程中的微漏，保護(hù)整體電氣系統(tǒng)的安全；槽體配置可實(shí)現(xiàn)腐蝕后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能；大多采用機(jī)械手方式移動(dòng)，工藝時(shí)間可以自行調(diào)節(jié)；酸堿槽具有自動(dòng)補(bǔ)液裝置，可實(shí)現(xiàn)無(wú)間斷生產(chǎn)；整個(gè)清洗、制絨過(guò)程中使用環(huán)保的清洗制絨液，降低了后續(xù)處理成本；最重要的是融合熱氮烘干功能，取代甩干機(jī)，大大降低了碎片率。以上技術(shù)在調(diào)查中，基本以槽式機(jī)為主，在濕法制絨（連續(xù)式）及等離子（干法）制絨機(jī)方面國(guó)內(nèi)正在研發(fā)，試驗(yàn)工藝已取得一定進(jìn)展。
國(guó)內(nèi)清洗制絨設(shè)備企業(yè)
國(guó)內(nèi)清洗制絨設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)有以下三種狀態(tài)：一是從國(guó)有企業(yè)轉(zhuǎn)型的老牌電子或半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)，代表企業(yè)有：中電四十八所（能提供完整的電池生產(chǎn)線）、西北電子裝備技術(shù)研究所（中電二所）、中電四十五所、保定天威新能源等；二是新近崛起的典型電子或半導(dǎo)體企業(yè)，代表企業(yè)有：北京七星華創(chuàng)、深圳捷佳創(chuàng)、北京華林嘉業(yè)、北京中聯(lián)科利、蘇州華林科納、青島賽瑞達(dá)等；三是水處理或超聲波設(shè)備公司轉(zhuǎn)型，代表企業(yè)有：深圳市恒通源、深圳市和科達(dá)、張家港聲達(dá)超聲設(shè)備、深圳市超純水、深圳市純水一號(hào)、張家港德科超聲、上海睿鵬清洗設(shè)備等。
擴(kuò)散爐：經(jīng)歷了開管——閉管——全封閉擴(kuò)散三個(gè)階段，絕大部分電池企業(yè)采用國(guó)產(chǎn)裝備上個(gè)世紀(jì)60年代由于國(guó)產(chǎn)光伏電池裝備技術(shù)落后，無(wú)法滿足電池工藝生產(chǎn)，一些電池廠家先后從國(guó)外引進(jìn)了鏈?zhǔn)綌U(kuò)散設(shè)備。1965年以前，這是我國(guó)擴(kuò)散爐出現(xiàn)階段，擴(kuò)散爐隨著半導(dǎo)體工藝的產(chǎn)生而出現(xiàn)，這一階段的國(guó)產(chǎn)擴(kuò)散爐水平與國(guó)外水平差距不大。進(jìn)入80年代我國(guó)電子工業(yè)專用裝備取得長(zhǎng)足進(jìn)展，電池生產(chǎn)用擴(kuò)散設(shè)備回到管式擴(kuò)散。2001年，中國(guó)電子科技集團(tuán)48所與無(wú)錫尚德公司的攜手合作拉開了我國(guó)光伏電池生產(chǎn)用擴(kuò)散設(shè)備技術(shù)與配套工藝飛速發(fā)展的序幕。短短的幾年時(shí)間里，我國(guó)光伏專用擴(kuò)散設(shè)備經(jīng)歷了從處理125mm×125mm、156mm×156mm方硅片向210mm×210mm方硅片躍進(jìn)；擴(kuò)散的質(zhì)量從原來(lái)的單片和整管擴(kuò)散均勻性在7％以內(nèi)的水平，提高到目前單片和整管擴(kuò)散均勻性在4％以內(nèi)的國(guó)際先進(jìn)水平；擴(kuò)散方式從原來(lái)的開管擴(kuò)散到現(xiàn)在的環(huán)保、潔凈、節(jié)能、安全的全封閉擴(kuò)散；單批次產(chǎn)能從原來(lái)的150片、200片、300片發(fā)展到日前的400片；控制方式從原來(lái)的手動(dòng)、PLC半自動(dòng)控制到日前的微機(jī)全自動(dòng)控制。目前我國(guó)光伏電池裝備市場(chǎng)上共有各類擴(kuò)散設(shè)備上千多管，其中85％左右以處理125mm×125mm電池片為主，兼容156mm×156mm電池片，這其中又有90％以上為微機(jī)自動(dòng)控制設(shè)備，只有不到10％為手動(dòng)或PLC半自動(dòng)產(chǎn)品。
技術(shù)特點(diǎn)在整機(jī)設(shè)備向全自動(dòng)化、高生產(chǎn)效率、低成本擴(kuò)散、操作人性化發(fā)展的同時(shí)，其核心單元技術(shù)如溫度控制將不可避免地采用更精細(xì)的控制方式（內(nèi)外熱偶串級(jí)控制技術(shù)等）。通過(guò)對(duì)加熱部件和負(fù)載同時(shí)監(jiān)控，確保實(shí)際工藝溫度長(zhǎng)期重復(fù)、穩(wěn)定可靠；工藝氣體流量控制將從目前的模擬向數(shù)字MFC（質(zhì)量流量控制器）發(fā)展，以實(shí)現(xiàn)更穩(wěn)定的工藝氣體流量控制。今后幾年內(nèi)，整機(jī)將向減壓擴(kuò)散、立式擴(kuò)散、鏈?zhǔn)綌U(kuò)散等方向發(fā)展，以適應(yīng)12＂及更大尺寸硅片的工藝要求，其單批次處理能力將達(dá)到更高的600～800片／批次。
國(guó)內(nèi)擴(kuò)散爐生產(chǎn)企業(yè)推薦
1、中電四十八所（長(zhǎng)沙）：中電四十八所事業(yè)二部承擔(dān)著擴(kuò)散爐等其他太陽(yáng)能光伏設(shè)備的生產(chǎn)，2008年，成功研制出了新型閉管擴(kuò)散爐——全封閉推舟軟著陸擴(kuò)散爐，2008年銷售數(shù)百臺(tái)之多，截至目前市場(chǎng)占有率在80%左右。包括其他光伏設(shè)備在內(nèi)，2008年銷售收入達(dá)10.15億元，新簽單5億多元。另外，2008年相繼為江西佳輝、神州光電等單位數(shù)十條生產(chǎn)線提供了除絲印機(jī)之外的整線裝備。今年一季度，中電四十八所銷售額達(dá)到收入4.1875億元，比去年同期增長(zhǎng)70%以上，真正實(shí)現(xiàn)了在金融危機(jī)影響下彎道不減速。四十八所新型擴(kuò)散爐，單管產(chǎn)能高達(dá)400片，在產(chǎn)能提高33%的同時(shí)，能源消耗降低50%以上，廢氣排放降低到原來(lái)開管擴(kuò)散的1/10，能耗降低20%左右，平均單位擴(kuò)散成本降低20%以上。成功突破了爐門自動(dòng)密封、尾進(jìn)尾出送氣、廢氣自動(dòng)收集、三維送片機(jī)構(gòu)調(diào)整等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的`大生產(chǎn)用新型太陽(yáng)能電池生產(chǎn)專用擴(kuò)散設(shè)備，價(jià)格卻只有進(jìn)口同類設(shè)備的1/3。
2、北京七星華創(chuàng)：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司（簡(jiǎn)稱“七星電子”）傳承五十多年電子裝備及元器件的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，于2001年9月成立。七星華創(chuàng)于2007年研制出新型擴(kuò)散爐，具有四套獨(dú)立的工藝爐管，關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，采用進(jìn)口智能控制器，可輸出四個(gè)開關(guān)量，對(duì)爐溫、閥門動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制，并管理全部工藝時(shí)序，可編輯存貯十條工藝曲線實(shí)現(xiàn)為實(shí)現(xiàn)閉管擴(kuò)散工藝，所以必須進(jìn)行爐口密封，在這方面，七星華創(chuàng)經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)次的試驗(yàn)，包括數(shù)次失敗的考驗(yàn)，最終解決了這個(gè)棘手的難題：即在沒(méi)有任何水冷條件下，在工藝溫度高達(dá)900℃時(shí)，采用普通氟橡膠密封圈能夠使工藝管密封，并能夠長(zhǎng)期工作。
3、株洲眾欣科技：株洲眾欣科技專注于磁流體領(lǐng)域，公司創(chuàng)辦人羅喜梅女士是國(guó)內(nèi)第一個(gè)把磁流體技術(shù)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)并運(yùn)用到真空領(lǐng)域的研發(fā)型企業(yè)家。2007年，眾欣科技通過(guò)和國(guó)內(nèi)的大專院校的多名專家學(xué)者細(xì)致交流，然后進(jìn)行了大量的市場(chǎng)實(shí)際調(diào)查，眾欣科技認(rèn)為擴(kuò)散在電池片當(dāng)中，起到?jīng)Q定性的作用。從提高轉(zhuǎn)換率以及降低生產(chǎn)成本出發(fā)，在現(xiàn)有市場(chǎng)上使用的擴(kuò)散爐技術(shù)方面進(jìn)行了革新，成功研發(fā)出新型“氣旋動(dòng)態(tài)”擴(kuò)散爐，截至目前已成功銷售3臺(tái)臥式“氣旋”擴(kuò)散爐。對(duì)于“動(dòng)態(tài)”擴(kuò)散的定義，眾欣科技是這樣解釋的，這是一個(gè)相對(duì)的概念，主要是針對(duì)硅片而言，現(xiàn)在市場(chǎng)上的硅片在擴(kuò)散的過(guò)程當(dāng)中都是靜止不動(dòng)的，而眾欣的動(dòng)態(tài)擴(kuò)散，就是硅片在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中是一個(gè)運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)。由于硅片主動(dòng)地尋找擴(kuò)散，而不是象原來(lái)的被動(dòng)擴(kuò)散，所以這個(gè)動(dòng)態(tài)擴(kuò)散的均勻性在遠(yuǎn)離上面確實(shí)可行，該擴(kuò)散爐最大的特點(diǎn)體現(xiàn)在擴(kuò)散的效果上：保持方塊電阻片內(nèi)均勻性在3歐姆之內(nèi)，源的使用量減少使用量三分之一。今年七月，眾欣科技將為湘潭一企業(yè)提供六管動(dòng)態(tài)擴(kuò)散爐，即25MW生產(chǎn)線。同時(shí)，根據(jù)市場(chǎng)的需要，眾欣科技也可以提供動(dòng)態(tài)擴(kuò)散改造服務(wù)，為電池片生產(chǎn)廠家節(jié)約大量的生產(chǎn)成本和運(yùn)行費(fèi)用。
4、青島賽瑞達(dá)：青島賽瑞達(dá)設(shè)備制造有限公司由北京昊海立德科技有限公司注資的高新技術(shù)企業(yè)，是集開發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)廠家。具有自主研制、設(shè)計(jì)和開發(fā)半導(dǎo)體專用工藝設(shè)備、包裝機(jī)械、智能化儀表等產(chǎn)品的能力，同時(shí)可根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行設(shè)計(jì)和開發(fā)，并且具備改造、裝備國(guó)外二手設(shè)備的能力。該公司擴(kuò)散爐為閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理，工藝廢氣集中收集從尾部定向排出，各種工藝氣體可分開送入石英管內(nèi)，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)，采用懸臂式推拉舟送取電池片，另采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機(jī)構(gòu)受腐蝕，影響推拉機(jī)構(gòu)的精確性。
等離子刻蝕機(jī)——干法腐蝕設(shè)備全部國(guó)產(chǎn)為主，少量濕法腐蝕設(shè)備需要進(jìn)口。
由于在擴(kuò)散過(guò)程中，即使采用背靠背擴(kuò)散，硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地?cái)U(kuò)散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會(huì)沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面，而造成短路。因此，必須對(duì)太陽(yáng)能電池周邊的摻雜硅進(jìn)行刻蝕，以去除電池邊緣的PN結(jié)。通常采用等離子刻蝕技術(shù)完成這一工藝，等離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下，反應(yīng)氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應(yīng)腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團(tuán)�；钚苑磻�(yīng)基團(tuán)由于擴(kuò)散或者在電場(chǎng)作用下到達(dá)SiO2表面，在那里與被刻蝕材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并形成揮發(fā)性的反應(yīng)生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面，被真空系統(tǒng)抽出腔體。
在等離子體刻蝕機(jī)使用過(guò)程中，等離子體不能一直保持在某一穩(wěn)定狀態(tài)，有許多因素會(huì)對(duì)刻蝕機(jī)系統(tǒng)產(chǎn)生擾動(dòng)，如刻蝕機(jī)的定期維護(hù)（PM）、反應(yīng)腔室內(nèi)壁聚合物的沉積、設(shè)備部件的老化（傳感器及各種其他容易磨損的部件），以及未經(jīng)測(cè)量的進(jìn)入反應(yīng)腔室的晶片狀態(tài)的差異等。在不同的時(shí)間尺度范圍內(nèi)，刻蝕機(jī)產(chǎn)生漂移的原因是不同的，因而需要采用相應(yīng)的控制類型加以控制。PM與PM之間，刻蝕機(jī)要經(jīng)歷定期的清洗、部件的更換和維修等，這些都能對(duì)刻蝕工藝產(chǎn)生影響�？涛g機(jī)定期維護(hù)的目的是讓反應(yīng)腔室每次都能恢復(fù)到同樣的理想狀態(tài)，而這通常是很難達(dá)到的。因而會(huì)在前一個(gè)刻蝕機(jī)定期維護(hù)快結(jié)束之時(shí)到下一次刻蝕機(jī)定期維護(hù)開始后的一段時(shí)間發(fā)生工藝狀態(tài)的不連續(xù)。在一個(gè)刻蝕機(jī)定期維護(hù)周期之內(nèi)，刻蝕機(jī)狀態(tài)的改變主要是由于刻蝕產(chǎn)生的殘余聚合物在反應(yīng)腔室內(nèi)的沉積，以及易損件及可更換部件的磨損所引起的。
干法刻蝕（ICP）是目前主流的刻蝕設(shè)備工藝，它采用射頻輝光放電將參與反應(yīng)的化學(xué)氣體電離形成等離子體，通過(guò)對(duì)刻蝕參數(shù)精確的控制和測(cè)量，把光刻形成的電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上形成三維結(jié)構(gòu)。其間融合了等離子體、射頻、超高真空、自動(dòng)化控制等多種尖端技術(shù)，是電池片制造過(guò)程中至關(guān)重要的一環(huán)。綜觀國(guó)內(nèi)刻蝕設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)，具有以下特點(diǎn)：采用片架旋轉(zhuǎn)密封技術(shù)，提高刻蝕的均勻性；硅片放置自動(dòng)壓緊技術(shù)，減少了鉆蝕風(fēng)險(xiǎn)；ICP技術(shù)的形成及引入，提高了設(shè)備的各種效率；特別是大容量反應(yīng)室的設(shè)計(jì)，大大提高了電池片的處理能力。
國(guó)內(nèi)等離子刻蝕機(jī)設(shè)備企業(yè)推薦
1、中科院微電子研究所：中國(guó)科學(xué)院微電子研究所“六五”、“七五”、“八五”、“九五”一直承擔(dān)等離子刻蝕技術(shù)領(lǐng)域的國(guó)家科技攻關(guān)項(xiàng)目。研究成功深亞微米刻蝕技術(shù)并先后研制生產(chǎn)了實(shí)驗(yàn)研究用RIE、MERIE和ICP高密度等離子體刻蝕機(jī)系列。該研究所的SE-3型刻蝕機(jī)通過(guò)PLC完成刻蝕太陽(yáng)能電池的程序控制功能，能完成除了裝片和卸片以外的全部生產(chǎn)過(guò)程的連續(xù)動(dòng)作和自動(dòng)保護(hù)等功能。具有良好的人機(jī)界面，使用方便、重復(fù)性好。另外，該機(jī)型因鉆蝕引起的硅片邊緣損耗�。s1mm左右），有利于提高太陽(yáng)能電池片的效率，且每批的一致性相當(dāng)好，刻蝕片超過(guò)500片/次，工藝過(guò)程全部實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
2、中電四十八所：四十八所刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn)，采用立式感應(yīng)耦合等離子體（ICP）技術(shù)；工藝過(guò)程全自動(dòng)控制，壓力閉環(huán)全自動(dòng)控制；工藝重復(fù)性好，刻蝕速度快（6寸電池片1200片以上/每小時(shí)，5寸電池片2000片左右/每小時(shí)）；批處理時(shí)間短、產(chǎn)量大；所有電氣元件均采用插拔式，便于維修和更換；適用于大批量生產(chǎn)。真空泵是干泵，MFC、真空規(guī)等都是MKS的。如行業(yè)內(nèi)知名的Q-Cell、Sharp、BP等企業(yè)都在用四十八所的干法刻蝕設(shè)備。
3、武漢三工：三工相關(guān)負(fù)責(zé)人解釋該公司刻蝕設(shè)備時(shí)講道，三工的激光絕緣電池片刻蝕機(jī)可以代替等離子刻蝕，該設(shè)備采用半導(dǎo)體端面泵浦紫外激光器及掃描振鏡輸出方式，與生產(chǎn)流水線配合，自動(dòng)上下料，自動(dòng)進(jìn)出料。CCD自動(dòng)識(shí)別跟蹤定位，可以滿足生產(chǎn)線節(jié)拍（1200片/小時(shí)）。這是在電池片生產(chǎn)過(guò)程中少數(shù)的激光刻蝕設(shè)備。
4、北京七星華創(chuàng)：七星華創(chuàng)生產(chǎn)兩種類型的刻蝕機(jī)，分別為MCP刻邊機(jī)及周邊刻蝕系統(tǒng)。其中，MCP刻邊機(jī)采用不銹鋼材質(zhì)做反應(yīng)腔室，解決了同類產(chǎn)品石英腔體在使用過(guò)程中，頻繁更換腔體帶來(lái)的消耗，降低了維護(hù)成本。另外電極內(nèi)置，克服了石英腔體外置電極在空氣中易產(chǎn)生臭氧及射頻泄漏的危害，提供了良好的使用環(huán)境。電池片處理數(shù)量在400—800片/批（特別適用于25MW-30MW生產(chǎn)線）。周邊刻蝕系統(tǒng)可處理硅片尺寸156×156mm，處理能力在300片/小時(shí)，真空壓力調(diào)節(jié)形式為自動(dòng)。
去磷硅玻璃（PSG）設(shè)備全部國(guó)產(chǎn)，基本以清洗設(shè)備制造企業(yè)為代表該設(shè)備用于光伏電池片生產(chǎn)制造過(guò)程中，通過(guò)化學(xué)腐蝕法也即把硅片放在氫氟酸溶液中浸泡，使其產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸，以去除擴(kuò)散制結(jié)后在硅片表面形成的一層磷硅玻璃。在擴(kuò)散過(guò)程中，POCL3與O2反應(yīng)生成P2O5淀積在硅片表面。P2O5與Si反應(yīng)又生成SiO2和磷原子，這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2，稱之為磷硅玻璃。去磷硅玻璃的設(shè)備一般由本體、清洗槽、伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、機(jī)械臂、電氣控制系統(tǒng)和自動(dòng)配酸系統(tǒng)等部分組成，主要?jiǎng)恿υ从袣浞帷⒌獨(dú)�、壓縮空氣、純水，熱排風(fēng)和廢水。國(guó)產(chǎn)去除PSG設(shè)備關(guān)鍵件大多采用進(jìn)口件，產(chǎn)能在1800-2400片左右/小時(shí)（大多適合于25MW-30MW生產(chǎn)線）。
國(guó)內(nèi)去除PSG設(shè)備基本以本文上期介紹的清洗設(shè)備廠家生產(chǎn)為主，故不再概述。
管式PECVD基本國(guó)產(chǎn)，平板式PECVD國(guó)內(nèi)已研發(fā)出來(lái)，已面市PECVD設(shè)備，通過(guò)沉積氮化硅膜來(lái)實(shí)現(xiàn)太陽(yáng)能電池減反射以及鈍化的效果。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體進(jìn)行化學(xué)氣相沉積的過(guò)程。其特點(diǎn)是電子密度高、電子平均能量大，富含大量化學(xué)氣相沉積的活性粒子和自由基，并且沉積溫度低。在采用SiH4和NH3作為源氣體沉積SiNx薄膜的過(guò)程中，由于大量氫原子的存在，使所生成的薄膜除了注冊(cè)香港公司具有減反射性能外，兼具有良好的表面和體鈍化性能，這是因?yàn)樵陔x子的轟擊下，氫原子更容易擴(kuò)散進(jìn)入薄膜體內(nèi)，從而提高膜的體鈍化效果。不僅如此，PECVD等離子體中由于含有高密度的離子，這些具有一定動(dòng)能的離子對(duì)沉積的減反射鈍化膜進(jìn)行轟擊，還會(huì)提高膜的質(zhì)密性和應(yīng)力。故PECVD設(shè)備是晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線制備減反射鈍化膜的主要設(shè)備。與此同時(shí)，PECVD設(shè)備也是整條太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線的核心設(shè)備之一，應(yīng)用于晶體硅太陽(yáng)電池生產(chǎn)線的PECVD設(shè)備價(jià)格已經(jīng)占到了整條線設(shè)備價(jià)格的三分之一左右，是所有設(shè)備中比重最大的一部分。國(guó)內(nèi)第一臺(tái)半導(dǎo)體用PECVD設(shè)備是由中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司研發(fā)的，零部件國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到了70%左右。目前市場(chǎng)上主流的PECVD設(shè)備技術(shù)按照反應(yīng)器結(jié)構(gòu)和等離子體發(fā)生源的不同，分為直接式PECVD和間接式PECVD。直接式即樣品直接接觸等離子體，樣品或樣品的支撐體就是電極的一部分；間接式或稱離域式即待沉積的樣品在等離子區(qū)域之外，等離子體不直接打到樣品表面，樣品或其支撐體也不是電極的一部分。
直接式又分成兩種：一種為管式PECVD系統(tǒng)，即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。這種設(shè)備的主要制造商為德國(guó)的Centrotherm公司、中國(guó)的第四十八研究所、七星華創(chuàng)公司。另一種為平板式PECVD系統(tǒng)，即將多片硅片放置在一個(gè)石墨或碳纖維支架上，放入一個(gè)金屬的沉積腔室中，腔室中有平板型的電極，與樣品支架形成一個(gè)放電回路，在腔室中的工藝氣體在兩個(gè)極板之間的交流電場(chǎng)的作用下在空間形成等離子體，分解SiH4中的Si和H，以及NH3種的N形成SiNx沉積到硅表面。這種沉積系統(tǒng)目前主要是日本島津公司在進(jìn)行生產(chǎn)。
但與管式PECVD設(shè)備相比，平板式PECVD具備產(chǎn)能大、裝卸片容易，易于自動(dòng)化集成等優(yōu)點(diǎn)，但到目前為止，國(guó)產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)上仍未真正出現(xiàn)相關(guān)的成熟產(chǎn)品，但國(guó)產(chǎn)樣機(jī)已完成研發(fā)，單元技術(shù)獲得一定的突破，部分關(guān)鍵零部件仍然要依賴進(jìn)口，工藝結(jié)果及穩(wěn)定性有待進(jìn)一步驗(yàn)證。在確保中低端設(shè)備持續(xù)向前發(fā)展的勢(shì)頭下，開發(fā)具有更高自動(dòng)化水平和單機(jī)生產(chǎn)效率的高端設(shè)備，提高整線生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，是太陽(yáng)能電池制造設(shè)備發(fā)展的必然方向。大型平板PECVD設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化，正令國(guó)內(nèi)客戶翹首以待。令人欣慰的是，國(guó)產(chǎn)平板PECVD設(shè)備的開發(fā)也確實(shí)正在緊鑼密鼓的進(jìn)行當(dāng)中，由北京北方微電子公司進(jìn)行的大型平板PECVD設(shè)備的自主研發(fā)，目前已經(jīng)接近尾聲，并于2009年第二季度推向市場(chǎng)。
國(guó)產(chǎn)PECVD設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)推薦
1、北方微電子：北方微電子研發(fā)的平板型PECVD設(shè)備成膜的均勻性、折射率、減反射效果以及各種工藝技術(shù)指標(biāo)都達(dá)到了世界先進(jìn)水平，經(jīng)過(guò)反復(fù)測(cè)試，具有良好的穩(wěn)定性和可維護(hù)性。采用獨(dú)有的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提升反應(yīng)室內(nèi)等離子場(chǎng)、溫度場(chǎng)、流體場(chǎng)和壓力場(chǎng)的均勻性，確保膜層具有優(yōu)良性能。采用10×10片的在線式架構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)每小時(shí)1500片的設(shè)計(jì)產(chǎn)量；可擴(kuò)展多工藝腔設(shè)計(jì)，按照客戶需求實(shí)現(xiàn)更大產(chǎn)能。該產(chǎn)品于今年二季度末推向市場(chǎng)，北方微電子建立了專門的電池生產(chǎn)線用于該產(chǎn)品測(cè)試。
2、中電四十八所：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所2002年開始研制M82200-1／UM型生產(chǎn)型軟著陸管式PECVD設(shè)備，經(jīng)過(guò)大量工藝試驗(yàn)，多晶硅太陽(yáng)能電池平均轉(zhuǎn)換效率在14.5％-15.5％之間，單晶硅太陽(yáng)能電池平均轉(zhuǎn)換效率在16％-17％，基本接近國(guó)外設(shè)備的先進(jìn)水平。該管式設(shè)備采用了國(guó)內(nèi)獨(dú)一無(wú)二的、與國(guó)際先進(jìn)水平相當(dāng)?shù)能浿懲浦鬯推�、后電極自動(dòng)連接、自動(dòng)精密真空門等先進(jìn)技術(shù)，在產(chǎn)能提高一倍的同時(shí)，使氮化硅成膜質(zhì)量又一次得到提高，每管日產(chǎn)量4000片左右，目前已在多家太陽(yáng)能生產(chǎn)線上使用，運(yùn)行狀況良好，在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)型設(shè)備中處于領(lǐng)先地位。
3、北京七星華創(chuàng)：七星華創(chuàng)研究薄膜淀積技術(shù)和相關(guān)設(shè)備已多年，在“八五”攻關(guān)的工程中，研制生產(chǎn)的PECVD系統(tǒng)獲得國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。但該公司以前的PECVD設(shè)備主要應(yīng)用于IC行業(yè)，在此基礎(chǔ)上七星華創(chuàng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行較大的改進(jìn)以適應(yīng)于太陽(yáng)能行業(yè)。在做了大量試驗(yàn)并參考了國(guó)外設(shè)備之后，最終于2007年成功研制出了雙管臥式熱壁型PECVD設(shè)備，并在當(dāng)年銷售四臺(tái)設(shè)備，銷售收入超過(guò)500多萬(wàn)元。該設(shè)備采用石墨制作裝片舟用來(lái)承載硅片，并根據(jù)實(shí)際使用情況不斷改進(jìn)其結(jié)構(gòu)，逐步完善石墨舟的設(shè)計(jì)，使其更加適用于大規(guī)模太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線，目前每管生產(chǎn)率達(dá)96片/45min。在如何引入電極的方式上，也做了大膽的創(chuàng)新。該P(yáng)ECVD設(shè)備與進(jìn)口同類設(shè)備所用的尾部電極引入方式不同，采用了由爐門處引入電極的前引入方式，此方式與電極后引入方式相比，引入結(jié)構(gòu)更加安全可靠，尤其利于設(shè)備的維護(hù)。通過(guò)該設(shè)備在單/多晶硅基底上所生長(zhǎng)的減反射膜，在片內(nèi)、片間和批間的均勻性和一致性都達(dá)到了國(guó)際同類產(chǎn)品水平。該設(shè)備已成功應(yīng)用于國(guó)內(nèi)多家電池生產(chǎn)線，并出口至新加坡等國(guó)家。
4、青島賽瑞達(dá)：賽瑞達(dá)PECVD設(shè)備為管式，采用進(jìn)口壓力控制、閉環(huán)系統(tǒng)及進(jìn)口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門。有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，裝片數(shù)量為250片/每爐管，采用軟著陸懸臂式推拉舟送取片方式。
5、上海航天機(jī)電：上海航天機(jī)電與上海太陽(yáng)能科技有限公司于2008年成功研制了太陽(yáng)能光伏用平板型PECVD，該設(shè)備通過(guò)了上海市科技攻關(guān)計(jì)劃《半導(dǎo)體器件制造工藝關(guān)鍵裝備技術(shù)的研究》項(xiàng)目驗(yàn)收，樣機(jī)在上海太陽(yáng)能科技有限公司生產(chǎn)線上實(shí)際運(yùn)作半年以上并取得良好效果。上海航天汽車機(jī)電公司此次研發(fā)的光伏生產(chǎn)線核心裝備PECVD設(shè)備涵蓋了PECVD薄膜工藝技術(shù)、光機(jī)電一體化技術(shù)、真空技術(shù)、微波技術(shù)、電子與信息技術(shù)（包括自動(dòng)化技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)等）、節(jié)能技術(shù)等多項(xiàng)技術(shù)領(lǐng)域，整個(gè)研發(fā)過(guò)程耗時(shí)3年多，在研發(fā)過(guò)程中采用了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)的技術(shù)，各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到同類設(shè)備的國(guó)際先進(jìn)水平，部分性能優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備，可以完全取代同類進(jìn)口設(shè)備，打破了國(guó)外設(shè)備的技術(shù)壟斷，使整個(gè)裝備的國(guó)產(chǎn)化率超過(guò)80％。
絲網(wǎng)印刷機(jī)：絲網(wǎng)印刷機(jī)手動(dòng)全部國(guó)產(chǎn)，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)于去年已推向市場(chǎng)。
太陽(yáng)電池經(jīng)過(guò)制絨、擴(kuò)散及PECVD等工序后，已經(jīng)制成PN結(jié)，可以在光照下產(chǎn)生電流，為了將產(chǎn)生的電流導(dǎo)出，需要在電池表面上制作正、負(fù)兩個(gè)電極。制造電極的方法很多，而絲網(wǎng)印刷是目前制作太陽(yáng)電池電極最普遍的一種生產(chǎn)工藝。絲網(wǎng)印刷是采用壓印的方式將預(yù)定的圖形印刷在基板上，該設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。其工作原理為：利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透過(guò)漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。油墨在移動(dòng)中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。由于漿料的粘性作用使印跡固著在一定范圍內(nèi)，印刷中刮板始終與絲網(wǎng)印版和基片呈線性接觸，接觸線隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng)，從而完成印刷行程。目前在國(guó)內(nèi)，手動(dòng)及半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并成功應(yīng)用于電池生產(chǎn)線，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已有研發(fā)，由深圳市網(wǎng)印巨星推出的全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)，正在電池生產(chǎn)線中進(jìn)行測(cè)試，各項(xiàng)數(shù)據(jù)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。而擁有更高定位精度的新一代半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已經(jīng)在主流廠商試用。
國(guó)內(nèi)絲網(wǎng)印刷機(jī)生產(chǎn)企業(yè)推薦
1、深圳網(wǎng)印巨星：成立于2000年的深圳網(wǎng)印巨星機(jī)電設(shè)備有限公司，是國(guó)內(nèi)致力于高精度、自動(dòng)化、智能化絲網(wǎng)印刷機(jī)械設(shè)計(jì)制造的專業(yè)企業(yè)。2006年該公司的主要產(chǎn)品絲網(wǎng)印刷機(jī)通過(guò)了歐盟的CE認(rèn)證，是國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)絲網(wǎng)印刷機(jī)械國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)主要制定單位。目前該公司在太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，涉及半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)兩大類產(chǎn)品。
2、中電四十五所：中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五研究所在絲網(wǎng)印刷領(lǐng)域涉及三種產(chǎn)品，分別為半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)，該機(jī)為手動(dòng)上下料，自動(dòng)印刷，適合中小型太陽(yáng)能生產(chǎn)線中硅片的印刷。另外還有精密網(wǎng)版印刷機(jī)、視覺對(duì)位網(wǎng)版印刷機(jī)。三個(gè)型號(hào)的絲網(wǎng)印刷機(jī)已裝備了國(guó)內(nèi)40多條太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線和試驗(yàn)線。四十五所在成功研制半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及全自動(dòng)LTCC絲網(wǎng)印刷機(jī)的技術(shù)基礎(chǔ)上針對(duì)太陽(yáng)能電池印刷的技術(shù)特點(diǎn)，進(jìn)行大量的調(diào)查研究，重點(diǎn)解決自動(dòng)圖像對(duì)準(zhǔn)技術(shù)、柔性傳輸技術(shù)、大直徑四工位高精度高速旋轉(zhuǎn)任務(wù)臺(tái)設(shè)計(jì)制造技術(shù)、自動(dòng)烘干控制技術(shù)、基片測(cè)試分選技術(shù)、智能化控制技術(shù)、軟件控制技術(shù)等7項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，成功研制出用于太陽(yáng)能電池基片的背鋁、背銀和正銀印刷、烘干、燒結(jié)、測(cè)試、分選的全自動(dòng)生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線主要包括1臺(tái)自動(dòng)上料機(jī)、3臺(tái)自動(dòng)視覺對(duì)準(zhǔn)絲網(wǎng)印刷機(jī)、2臺(tái)烘干爐、1臺(tái)燒結(jié)爐、1臺(tái)測(cè)試分選機(jī)等8個(gè)部分，各部分協(xié)調(diào)任務(wù)，不需要人為干預(yù)。
3、昆山合信：昆山合信太陽(yáng)能設(shè)備有限公司是一家以研發(fā)、生產(chǎn)、銷售太陽(yáng)能電池絲網(wǎng)印刷機(jī)、厚膜印刷機(jī)等設(shè)備的企業(yè)。該公司目前有半自動(dòng)及全自動(dòng)兩種類型的絲網(wǎng)印刷機(jī)，基本以代理銷售為主。
4、萊茵茜斯田（天津）：該公司跟據(jù)市場(chǎng)所需，研發(fā)出了全自動(dòng)太陽(yáng)能電池專用絲網(wǎng)印刷機(jī)，該產(chǎn)品引用先進(jìn)的韓國(guó)技術(shù)研發(fā)而成，主體構(gòu)造有影像系統(tǒng)全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及近紅外線烘干設(shè)備組成，不僅能印刷太陽(yáng)能電池核心部位的電極，還可進(jìn)行高品質(zhì)印刷，且印刷后干燥速度快（從印刷到干燥最多用3.5秒），可大大提升生產(chǎn)能力。同時(shí)，此款全自動(dòng)太陽(yáng)能電池專用絲網(wǎng)印刷機(jī)還可在印刷全過(guò)程中監(jiān)控承印物的破壞與否，而采用自動(dòng)刮膠調(diào)節(jié)壓力感應(yīng)器裝置，能維持均勻的壓力，并可維持均一的印刷厚度，新概念的校位方式保證了低不良率，在價(jià)格上比歐美進(jìn)口設(shè)備要更為低廉。
高溫?zé)Y(jié)爐國(guó)內(nèi)生產(chǎn)研發(fā)技術(shù)明顯提高，開始批量在大生產(chǎn)線使用，但進(jìn)口仍占多數(shù).
經(jīng)過(guò)絲網(wǎng)印刷后的硅片，不能直接使用，需經(jīng)燒結(jié)爐快速燒結(jié)，將有機(jī)樹脂粘合劑燃燒掉，剩下幾乎純粹的、由于玻璃質(zhì)作用而密合在硅片上的銀電極。當(dāng)銀電極和晶體硅在溫度達(dá)到共晶溫度時(shí)，晶體硅原子以一定的比例融入到熔融的銀電極材料中去，從而形成上下電極的歐姆接觸，提高電池片的開路電壓和填充因子兩個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，使其具有電阻特性，以提高電池片的轉(zhuǎn)換效率。燒結(jié)爐分為預(yù)燒結(jié)、燒結(jié)、降溫冷卻三個(gè)階段。預(yù)燒結(jié)階段目的是使?jié){料中的高分子粘合劑分解、燃燒掉，此階段溫度慢慢上升；燒結(jié)階段中燒結(jié)體內(nèi)完成各種物理化學(xué)反應(yīng)，形成電阻膜結(jié)構(gòu)，使其真正具有電阻特性，該階段溫度達(dá)到峰值；降溫冷卻階段，玻璃冷卻硬化并凝固，使電阻膜結(jié)構(gòu)固定地粘附于基片上。目前在國(guó)內(nèi)高溫?zé)Y(jié)爐產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)上取得了突破，主要體現(xiàn)在以下幾方面：尖峰燒結(jié)溫度曲線的形成與控制；均勻熱場(chǎng)形成技術(shù)；快速冷卻技術(shù)以及充分的排膠設(shè)計(jì)。
設(shè)備市場(chǎng)調(diào)研報(bào)告 4
傳統(tǒng)運(yùn)營(yíng)商在整個(gè)電信網(wǎng)絡(luò)以及移動(dòng)通信網(wǎng)絡(luò)建設(shè)和運(yùn)營(yíng)的產(chǎn)業(yè)鏈中，占據(jù)核心地位，對(duì)于電信、寬帶、移動(dòng)這些通信業(yè)務(wù)的分析，也必須以運(yùn)營(yíng)商為核心，進(jìn)而推廣到各個(gè)子行業(yè)。而通信設(shè)備行業(yè)又可以細(xì)分為系統(tǒng)設(shè)備、輔助設(shè)備、系統(tǒng)集成、光纖光纜、網(wǎng)絡(luò)規(guī)劃和優(yōu)化以及運(yùn)維、終端設(shè)備，增值服務(wù)提供等子行業(yè)，這條產(chǎn)業(yè)鏈上其他各個(gè)子行業(yè)或多或少都與運(yùn)營(yíng)商有著聯(lián)系。
互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，成為社會(huì)不可或缺的生產(chǎn)和交易平臺(tái)，帶動(dòng)一系列新興產(chǎn)業(yè)如云計(jì)算，電子商務(wù)、社交網(wǎng)絡(luò)發(fā)展的同時(shí)也對(duì)在高速泛在的信息網(wǎng)絡(luò)提出更高要求。固定寬帶的不可替代性，其獨(dú)享、安全、可靠的特性以及未來(lái)發(fā)展的超高速特性，無(wú)疑將孕育出眾多的商業(yè)機(jī)會(huì)，成為未來(lái)經(jīng)濟(jì)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的基礎(chǔ)。
移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)發(fā)展迅猛，移動(dòng)數(shù)據(jù)流量快速增長(zhǎng)；進(jìn)入數(shù)據(jù)運(yùn)營(yíng)時(shí)代，數(shù)據(jù)業(yè)務(wù)提供能力將成為用戶選擇網(wǎng)絡(luò)提供商的最重要因素。
4G牌照的發(fā)放、國(guó)家寬帶戰(zhàn)略的確定，還有物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的發(fā)展都給通信市場(chǎng)帶來(lái)了利好消息，與其他大部分行業(yè)整體經(jīng)營(yíng)環(huán)境不善相比，通信產(chǎn)業(yè)的發(fā)展機(jī)遇被業(yè)界所看好。預(yù)計(jì)整個(gè)通信產(chǎn)業(yè)鏈將超過(guò)5000億元的市場(chǎng)規(guī)模，包括設(shè)備制造商、工程商、軟件商、運(yùn)營(yíng)商、終端制造商和系統(tǒng)集成商等上中下游企業(yè)均有獲利機(jī)會(huì)和機(jī)遇。未來(lái)，將會(huì)有更多的OTT服務(wù)商進(jìn)入通信行業(yè)，這對(duì)行業(yè)尤其是運(yùn)營(yíng)商的商業(yè)模式和業(yè)務(wù)流程影響很大，服務(wù)的精細(xì)化和定制化將成為未來(lái)行業(yè)的主題，而通信市場(chǎng)會(huì)因此更加活躍、管理難度加大，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)也會(huì)更加激烈。
主體：
通信行業(yè)中各細(xì)分行業(yè)平均薪資（月薪）顯示，大型設(shè)備商以8974元/月位居第一，通信終端設(shè)備商以8696元/月緊隨其后，而運(yùn)營(yíng)商僅以3783元/月墊底。在年終獎(jiǎng)數(shù)據(jù)中，運(yùn)營(yíng)商雖有提升，但遠(yuǎn)不及通信終端設(shè)備商、大型設(shè)備商萬(wàn)元以上的前列水平。看來(lái)運(yùn)營(yíng)商薪資水平不高并非空穴來(lái)風(fēng)。
從技術(shù)角度講，設(shè)備商收入高無(wú)可厚非，研發(fā)與運(yùn)營(yíng)的技術(shù)含量畢竟不同。設(shè)備商收入雖高，相應(yīng)的工作強(qiáng)度和壓力卻非常之大。運(yùn)營(yíng)商收入較低，工作相對(duì)輕松，各方面的要求也較低，是穩(wěn)定之選。作為運(yùn)營(yíng)商應(yīng)在創(chuàng)新通信技術(shù)、完善客戶服務(wù)上有所突破，只有增強(qiáng)創(chuàng)新和服務(wù)能力，才能提升績(jī)效和員工薪資。 綜合通信行業(yè)不同職位平均月薪與年終獎(jiǎng)兩份數(shù)據(jù)，系統(tǒng)工程師與項(xiàng)目經(jīng)理平分秋色，前者月薪遙遙領(lǐng)先（11000元/月），后者年終獎(jiǎng)（16000元）最高。硬件工程師和數(shù)據(jù)通信工程師的月薪和年終獎(jiǎng)始終保持較高水平。但按地區(qū)出現(xiàn)頻率來(lái)計(jì)算，項(xiàng)目經(jīng)理/項(xiàng)目主管在廣西壯族自治區(qū)、河南、內(nèi)蒙古自治區(qū)、福建、湖北、遼寧這些省份均是平均月薪最高的。
同時(shí)在這兩份數(shù)據(jù)曲線中，通信電源工程師薪資均為最低點(diǎn)。不過(guò)在重慶、海南、浙江、安徽、河北、北京這些省市，平均月薪最低的是技術(shù)支持。技術(shù)支持分售前和售后，售后技術(shù)支持在技術(shù)上更勝一籌，售前則與市場(chǎng)更接近，需要與客戶溝通。技術(shù)支持工作辛苦，技術(shù)含量不算高，且多“體力活”。只有接觸核心技術(shù)的技術(shù)支持才有高回報(bào)的可能，普通技術(shù)支持工資不高有因可循。
1，3G
3G是第三代移動(dòng)通信的`簡(jiǎn)稱，3G工程師包括3G無(wú)線軟件工程師、3G無(wú)線研發(fā)質(zhì)量工程師、3G無(wú)線網(wǎng)絡(luò)規(guī)劃等，中國(guó)被世界認(rèn)為是全球最大的3G移動(dòng)市場(chǎng)，但是與3G相關(guān)的人才卻嚴(yán)重失調(diào)。據(jù)前程無(wú)憂網(wǎng)的薪資數(shù)據(jù)報(bào)告顯示高級(jí)嵌入式軟件工程師的年薪在30萬(wàn)左右，即便是初級(jí)的嵌入式軟件開發(fā)人員，基本工資也在5000/月，相信在未來(lái)工資待遇還會(huì)有所改善。 隨著3G和4G通信的到來(lái)及未來(lái)通信的發(fā)展，通信技術(shù)人才的需求量越來(lái)越大。
2、軟件測(cè)試工程師
軟件測(cè)試工程師指理解產(chǎn)品的功能要求，并對(duì)其進(jìn)行測(cè)試，檢查軟件又沒(méi)有（BUG），簡(jiǎn)單的說(shuō)是但當(dāng)“質(zhì)量管理的”角色軟件測(cè)試人員的主要職責(zé)是對(duì)軟件產(chǎn)品的整個(gè)開發(fā)過(guò)程進(jìn)行監(jiān)督和檢驗(yàn)，使之能夠達(dá)到滿足客戶的需求，因此對(duì)于企業(yè)來(lái)講是十分重要的崗位。
3、網(wǎng)絡(luò)工程師
網(wǎng)絡(luò)工程師是通過(guò)學(xué)習(xí)和訓(xùn)練，掌握網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的理論知識(shí)和操作技能的網(wǎng)絡(luò)技術(shù)人員。網(wǎng)絡(luò)工程師能夠從事計(jì)算機(jī)信息系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、建設(shè)、運(yùn)行和維護(hù)工作。網(wǎng)絡(luò)工程師是指基于硬、軟件兩方面的工程師，根據(jù)硬件和軟件的不同、認(rèn)證的不同，將網(wǎng)絡(luò)工程師劃分成很多種類。目前，大家比較認(rèn)可的是軟件方面的網(wǎng)絡(luò)工程師。
4、電子商務(wù)
電子商務(wù)通常是指是在全球各地廣泛的商業(yè)貿(mào)易活動(dòng)中，在因特網(wǎng)開放的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下，基于瀏覽器/服務(wù)器應(yīng)用方式，買賣雙方不謀面地進(jìn)行各種商貿(mào)活動(dòng)，實(shí)現(xiàn)消費(fèi)者的網(wǎng)上購(gòu)物、商戶之間的網(wǎng)上交易和在線電子支付以及各種商務(wù)活動(dòng)、交易活動(dòng)、金融活動(dòng)和相關(guān)的綜合服務(wù)活動(dòng)的一種新型的商業(yè)運(yùn)營(yíng)模式。
5、軟件開發(fā)
本專業(yè)畢業(yè)生適合的工作崗位是計(jì)算機(jī)程序設(shè)計(jì)師。適合于熟練地按照工程化的思路進(jìn)行軟件編制、軟件測(cè)試的工作崗位，能擔(dān)任各種企事業(yè)單位和各級(jí)工程建設(shè)部門、管理部門的計(jì)算機(jī)軟件和硬件維護(hù)、網(wǎng)絡(luò)的組建、維護(hù)等工作，也可從事計(jì)算機(jī)研究與應(yīng)用、軟件開發(fā)等方面的工作
自20xx年底工信部正式向三大運(yùn)營(yíng)商發(fā)布TD-LTE牌照，20xx年6月FDD也進(jìn)入試商用，三大運(yùn)營(yíng)商都相繼加大了在4G領(lǐng)域的投資，據(jù)了解，中國(guó)移動(dòng)在4G牌照發(fā)放以后已建設(shè)了50萬(wàn)個(gè)4G基站，4G用戶總數(shù)已達(dá)4095萬(wàn)戶，并在新的第三期計(jì)劃中，再建設(shè)20萬(wàn)個(gè)基站。在中國(guó)移動(dòng)領(lǐng)頭，中國(guó)聯(lián)通、中國(guó)電信緊隨其后的模式下紛紛展開，三大運(yùn)營(yíng)商均在4G建網(wǎng)上加大了投資力度。
LTE相關(guān)的工程項(xiàng)目陸續(xù)在各地進(jìn)行，這導(dǎo)致對(duì)LTE人才的需求大增，許多通信公司都貼出了招聘LTE工程師的需求，據(jù)通信人才網(wǎng)運(yùn)營(yíng)總監(jiān)鄧志強(qiáng)介紹，今年以來(lái)，許多通信企業(yè)都提出了急聘LTE工程師的需求，特別是一些中小企業(yè)，之前對(duì)該類人才的儲(chǔ)備不足，給出的待遇也要比往常高出20%左右。
4G建設(shè)投資，移動(dòng)領(lǐng)跑，聯(lián)通、電信緊跟。
面對(duì)正在蓬勃發(fā)展的4G行業(yè)，三大運(yùn)營(yíng)商和全國(guó)各通信企業(yè)的4G人才需求缺口成為迫在眉睫的問(wèn)題。工信部人才交流中心副主任王希征說(shuō)，4G進(jìn)入大規(guī)模建設(shè)階段后，如果4G人才的培養(yǎng)跟不上行業(yè)發(fā)展的要求，就會(huì)極大地制約4G行業(yè)的發(fā)展。
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